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最新消息| 集成電路半導體Fab無塵室凈化系統比較 | 2024-11-12 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.baidu.com/link?url=rTtCSlayynmMk1raFwaqDl1l6FWIH4RUqJiv22QMS_Hlaq2SnuIveUBSvnMRzidP8GVOhnq8oWrhsx8o-R3LqacQAhHclxDRFSXyrLu8X7S" 集成電路半導體領域的無塵車間建造，不僅需注重實用性與可靠性，更要靈活適應產業快速更迭的需求，以便迅速按制程調整升級。這一潔凈室的營造，對于環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等有著嚴苛的要求。相較于其他領域的工業潔凈室，集成電路制造無塵車間以其大面積、高潔凈等級和精確的溫濕度控制等特點脫穎而出。nn縱觀國內各大制造商的生產制程，主流的無塵車間氣流設計可分為三種類型：nn其一，循環空調機配合高效送風口系統，雖在小規模、低等級要求的無塵車間中廣泛應用，但對于大面積、高等級的潔凈車間則面臨運行成本高昂、占用空間龐大等挑戰；nn其二，循環風機配合濕式密封系統，雖能滿足集成電路制造無塵車間的大面積和高等級需求，但運行成本同樣不菲，且潔凈室的風速、風量調節困難，系統升級改造同樣棘手，操作靈活性大打折扣；nn其三，FFU自循環系統，既節省運行空間，又確保高潔凈度與低運行成本，其卓越的操作靈活性使得系統升級和調整成為可能，在滿足半導體制造需求方面獨樹一幟，因此在半導體制造業中逐漸成為最主要的凈化設計方案。nnnnFFU循環系統的特色在于其結構：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道構成，FFU為循環空氣提供動力，將新風與循環風混合后，通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層保持負壓。此外，集成電路制造廠務設備區域，包括電力、氣體和化學品供應、超純水供應等生產輔助區，也是不可或缺的一部分。nnnn集成電路制造潔凈廠房在噪聲、微振、照度等方面均有嚴格規定，特別是在振動控制上，對潔凈室的建筑結構設計提出了更高要求。優秀的規劃設計不僅有助于節能減排、降低運行和人力成本，還能為生產提供堅實的安全保障。在三種潔凈系統中，FFU循環系統因其低運行成本和高潔凈度安全性而受到青睞，廣泛應用于集成電路潔凈廠房。隨著潔凈度要求的提高，溫濕度控制精度的增加，潔凈室的投資和運行成本也會隨之攀升。因此，在整體環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將關鍵工藝設備置于高潔凈度或高精度溫濕度控制區域內，已成為集成電路制造潔凈廠房的設計新趨勢。nnnn 關鍵字標籤：www.hytech.com.tw |
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